記者8月25日在常州比太科技有限公司獲悉，該公司自主研發生產的新一代多晶硅電池RIE干法制絨裝備Tysol3000-RIE成功出貨晶澳太陽能公司。比太科技在等離子干法刻蝕上的突破是高端裝備技術的重大進步，解決了我國太陽能電池制造核心技術依賴進口問題，為我國太陽能電池技術持續進步提供了有力支撐。

比太科技是專注于新一代高效太陽能電池裝備的研發和制造，由美國硅谷的金沙江創投（GSRVenture）一期投資1000萬美元創立。比太科技基于自主研發的線性等離子源技術，成功開發出了Tysol-RIE系列干法制絨設備，成為國內業界唯一實現RIE干法制絨技術量產化的設備制造企業。

據了解，經過相關工藝優化，比太科技的干法制絨比傳統濕法制絨，可將多晶硅電池的轉換效率提升0.8%以上,使目前量產的多晶硅電池效率從18%左右提升到接近19%，目前該技術受到業內主流光伏制造商的廣泛關注。據晶澳公司的宣布，以黑硅電池做成的610潤秀電池組件功率平均達到了275瓦，比目前市場上常規多晶電池組件的功率提高15瓦，相應的單位發電量增加6%，使相關的發電系統成本大幅度降低。

曾在美國留學，多年從事于等離子鍍膜技術開發研究的常州比太科技科技創始人兼CEO上官泉元告訴記者，干法制絨黑硅是能以最低成本投入，獲得最大效益的技術，并可以嫁接到傳統的電池生產線上，為我國太陽能電池技術進步提供解決方案。干法制絨不僅可以用于常規多晶硅電池，而且對金鋼線切割的硅片也能達到同樣效果，為進一步減少硅片厚度，降低太陽能電池成本奠定了基礎。比太科技創始人兼總裁李劍說：最近，我們連續接到多臺訂單，并有多家太陽能電池生產廠正積極跟進，預期黑硅技術將被擴大采用并成為多晶電池的標準工藝。我們的黑硅電池可疊加匹配PERC電池突破多晶20%的效率，達到290295瓦的組件功率，奠定了中國晶硅電池產業的技術升級基礎。

據悉，國內現有超過40GW產能的多晶硅電池生產線，同時市場規模以每年20%的速度在增長。采用干法制絨替代現有濕法制絨可以對舊線改造，也可以在建造新線時實現，1臺Tysol-3000RIE設備每年可以生產100兆瓦（100MW）電池，所以1GW約需要10臺設備，具有很大的市場潛力。（吳寧軼胡滿朝記者丁秀玉）